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半導(dǎo)體行業(yè)術(shù)語縮寫詞典,專業(yè)詞匯匯總與解析總結(jié)

以下是一些半導(dǎo)體行業(yè)常用的術(shù)語縮寫及其含義:
1. "IC" - Integrated Circuit,集成電路 2. "DRAM" - Dynamic Random Access Memory,動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器 3. "SRAM" - Static Random Access Memory,靜態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器 4. "NAND" - NAND Flash,NAND型閃存 5. "Flash" - Flash Memory,閃存 6. "CMOS" - Complementary Metal-Oxide-Semiconductor,互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體 7. "CPU" - Central Processing Unit,中央處理器 8. "GPU" - Graphics Processing Unit,圖形處理器 9. "FPGA" - Field-Programmable Gate Array,現(xiàn)場(chǎng)可編程門陣列 10. "ASIC" - Application-Specific Integrated Circuit,專用集成電路 11. "EDA" - Electronic Design Automation,電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化 12. "TSMC" - Taiwan Semiconductor Manufacturing Company,臺(tái)灣半導(dǎo)體制造公司 13. "UMC" - United Microelectronics Corporation,聯(lián)華電子 14. "SMIC" - Semiconductor Manufacturing International Corporation,中芯國(guó)際 15. "SOI" - Silicon On Insulator,絕緣體上硅 16. "FinFET" - Fin Field-Effect Transistor,鰭式場(chǎng)效應(yīng)晶體管 17. "3D NAND" - Three-dimensional NAND,三維NAND閃存 18. "MEMS" -

相關(guān)內(nèi)容:

作為半導(dǎo)體行業(yè)新人來說,最痛苦的莫過于各種縮寫詞術(shù)語了,有的縮寫詞一樣但是會(huì)有不同的解釋。


這里作者給大家整理了部分術(shù)語詞典,后面會(huì)按照更新順序一一分享出來。


廢話不多說,直接開始,如有遺漏,歡迎大家在評(píng)論區(qū)或者私信補(bǔ)充,作者會(huì)在后面單開一篇來補(bǔ)充:




06




F-開頭縮寫



縮寫

英文全稱

中文解釋

技術(shù)說明

FA

Failure Analysis

失效分析

FIB切片定位缺陷,分辨率±5nm,定位時(shí)間<2小時(shí)

FAB

Fabrication

晶圓制造

全流程生產(chǎn)(光刻/刻蝕/沉積),潔凈度Class 1

FDC

Fault Detection and Classification

故障檢測(cè)與分類

AI分析等離子體光譜,預(yù)測(cè)設(shè)備異常(提前>4小時(shí))

FD-SOI

Fully Depleted SOI

全耗盡絕緣體上硅

超薄硅層(<10nm),漏電流降低100倍,用于低功耗芯片

FEM

Focus Energy Matrix

焦距能量矩陣

光刻窗口優(yōu)化方法(曝光能量/焦距組合)

FEOL

Front End Of Line

前道工藝

晶體管制造(柵極/源漏),包含離子注入/退火

FFT

Fast Fourier Transform

快速傅里葉變換

信號(hào)處理核心算法(用于EBI缺陷識(shí)別)

FG

Floating Gate

浮柵

閃存存儲(chǔ)單元核心結(jié)構(gòu),電子保持時(shí)間>10年

FIB

Focused Ion Beam

聚焦離子束

納米級(jí)切割/成像(精度±2nm),用于電路編輯和失效分析

FIFO

First In First Out

先進(jìn)先出

晶圓隊(duì)列管理策略,減少Q(mào)-time超限風(fēng)險(xiǎn)

FinFET

Fin Field-Effect Transistor

鰭式場(chǎng)效應(yīng)晶體管

3D溝道結(jié)構(gòu)(鰭片),22nm-5nm節(jié)點(diǎn)主流技術(shù),抑制短溝道效應(yīng)

FLASH

Flash Memory

閃存

NAND/ NOR架構(gòu),3D NAND堆疊層數(shù)>200

FM

Ferroelectric Memory

鐵電存儲(chǔ)器

極化翻轉(zhuǎn)速度<1ns,耐久性>101?次

FMEA

Failure Mode and Effects Analysis

失效模式與影響分析

工藝風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估工具(如等離子體不穩(wěn)定導(dǎo)致刻蝕不均)

FN

Fowler-Nordheim

福勒-諾德海姆隧穿

電子隧穿柵氧層機(jī)制(用于EEPROM編程)

FOUP

Front-Opening Unified Pod

前開式晶圓傳送盒

Class 1潔凈度容器,存儲(chǔ)/傳送300mm晶圓

FOWLP

Fan-Out Wafer Level Packaging

扇出型晶圓級(jí)封裝

芯片嵌入環(huán)氧樹脂→RDL布線→植球,I/O密度>500/mm2

FPD

Flat Panel Display

平板顯示

LTPS背板工藝,遷移率>100cm2/V·s

FPY

First Pass Yield

首次通過良率

晶圓流片首次測(cè)試良率,先進(jìn)節(jié)點(diǎn)目標(biāo)>95%

FRAM

Ferroelectric RAM

鐵電隨機(jī)存儲(chǔ)器

同F(xiàn)M,讀寫能耗<1pJ/bit

FSA

Full Sheet Annealing

整片退火

快速熱退火(RTA)變體,溫度均勻性±1℃@1100℃

FSI

Full Slice Imaging

全切片成像

3D芯片無損檢測(cè)(分辨率<200nm)

FSM

Finite State Machine

有限狀態(tài)機(jī)

設(shè)備控制系統(tǒng)核心邏輯(如光刻機(jī)順序控制)

FSP

Fused Silica Plate

熔融石英板

光刻掩?;?,熱膨脹系數(shù)<0.01ppm/℃

FT

Final Test

成品測(cè)試

芯片封裝后電性測(cè)試,覆蓋率>99%

FTIR

Fourier Transform Infrared Spectroscopy

傅里葉變換紅外光譜

分析薄膜成分(如SiO?中OH基含量),精度±0.1%

FTS

Fast Thermal Spike

快速熱尖峰退火

毫秒級(jí)退火(>1300℃),激活摻雜原子并抑制擴(kuò)散

FVM

Free Volume Model

自由體積模型

預(yù)測(cè)Low-k材料機(jī)械強(qiáng)度(與孔隙率關(guān)聯(lián))

FWHM

Full Width at Half Maximum

半高寬

光譜/峰形分析參數(shù)(如離子注入能量分布)

FZ

Float Zone

懸浮區(qū)熔法

超高純單晶硅制備(雜質(zhì)<0.1ppb),用于功率器件

FBE

Fixed Beam Exposure

固定束曝光

電子束光刻模式,吞吐量>5片/天

FIC

Film Integrated Circuit

薄膜集成電路

柔性電子工藝,基底厚度<10μm

FKM

Fluoroelastomer

氟橡膠

真空密封材料,耐等離子體腐蝕>1000小時(shí)

FL

Field Layer

場(chǎng)區(qū)層

LOCOS隔離技術(shù)核心,厚度>500nm

FLA

Flash Lamp Annealing

閃光燈退火

毫秒級(jí)熱處理(>1000℃),消除離子注入損傷

FMEA

Failure Mode and Effects Analysis

失效模式與影響分析

工藝風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估工具(如等離子體不穩(wěn)定導(dǎo)致刻蝕不均)

FOM

Figure of Merit

品質(zhì)因數(shù)

器件綜合指標(biāo)(如功率放大器PAE>60%)

FPD

Flat Panel Display

平板顯示

LTPS背板工藝,遷移率>100cm2/V·s

FQC

Final Quality Control

最終質(zhì)量控制

出貨前全檢(包含EL測(cè)試/外觀檢查)

FRS

Free Reticle Storage

掩模版自由存儲(chǔ)系統(tǒng)

AMHS子系統(tǒng),存儲(chǔ)容量>5000片,取放時(shí)間<30秒

FSE

Fast Secondary Electron

快速二次電子

SEM成像模式,表面敏感性高

FSP

Focused Spot Profiler

聚焦點(diǎn)輪廓儀

測(cè)量光刻機(jī)焦平面,精度±0.01μm

FST

Film Stress Test

薄膜應(yīng)力測(cè)試

晶圓曲率法測(cè)量應(yīng)力,精度±10MPa

FSW

Front Side Wafer

正面晶圓

器件制造面(與背面工藝BSW區(qū)分)

FTIR

Fourier Transform Infrared Spectroscopy

傅里葉變換紅外光譜

分析薄膜成分(如SiO?中OH基含量),精度±0.1%

FVM

Free Volume Model

自由體積模型

預(yù)測(cè)Low-k材料機(jī)械強(qiáng)度(與孔隙率關(guān)聯(lián))



07

G-開頭縮寫


縮寫

英文全稱

中文解釋

技術(shù)說明

GAA

Gate-All-Around

全環(huán)繞柵極

納米線/納米片溝道(Nanosheet),取代FinFET,用于3nm及以下節(jié)點(diǎn)

GaAs

Gallium Arsenide

砷化鎵

高頻材料(電子遷移率>5000 cm2/V·s),用于5G射頻芯片

GaN

Gallium Nitride

氮化鎵

寬禁帶半導(dǎo)體(3.4eV),耐壓>650V,用于快充/5G基站

GBD

Grain Boundary Defect

晶界缺陷

多晶硅柵極關(guān)鍵問題,導(dǎo)致漏電增加,需退火優(yōu)化

GCI

Gas Cluster Ion

氣體團(tuán)簇離子

表面平坦化技術(shù),團(tuán)簇尺寸>1000原子,粗糙度<0.2nm

GDS

Gas Delivery System

氣體輸送系統(tǒng)

VMB(氣體閥箱)核心,流量精度±0.5% sccm

Ge

Germanium

高遷移率溝道材料(空穴遷移率>1900 cm2/V·s),用于PMOS優(yōu)化

GEM

Generic Equipment Model

通用設(shè)備模型

SECS/GEM協(xié)議實(shí)現(xiàn)設(shè)備自動(dòng)化控制

GIDL

Gate-Induced Drain Leakage

柵致漏極泄漏

高電場(chǎng)下柵漏重疊區(qū)載流子隧穿,導(dǎo)致待機(jī)電流增加

GIXRD

Grazing Incidence X-ray Diffraction

掠入射X射線衍射

超薄膜分析(厚度<5nm),分辨率0.01nm

GLS

Gate Last Structure

后柵極結(jié)構(gòu)

High-k金屬柵集成工藝,減少熱預(yù)算

GM

Gain Margin

增益裕度

工藝控制穩(wěn)定性指標(biāo)(如CMP壓力反饋系統(tǒng))

GMR

Giant Magneto Resistance

巨磁阻

磁阻變化率>100%,用于高靈敏度磁傳感器

GOI

Gate Oxide Integrity

柵氧完整性

TDDB測(cè)試關(guān)鍵參數(shù),失效電場(chǎng)>15MV/cm

GPC

Gas Phase Cleaning

氣相清洗

HF/IPA混合蒸汽清洗,替代濕法工藝

GPM

Giga Patterning Machine

千兆級(jí)圖形化設(shè)備

多電子束直寫系統(tǒng),吞吐量>10片/小時(shí)(5nm節(jié)點(diǎn))

GR

Gettering Region

吸雜區(qū)

晶圓背面摻磷/損傷層,捕獲金屬雜質(zhì)(效率>99%)

GS

Ground Shield

接地屏蔽

射頻器件抗干擾設(shè)計(jì),隔離度>60dB

GST

GeSbTe

鍺銻碲相變材料

相變存儲(chǔ)器核心,電阻比>1000,編程速度<10ns

GTO

Gate Turn-Off Thyristor

門極可關(guān)斷晶閘管

功率器件,關(guān)斷時(shí)間<2μs,耐壓>6kV

GUI

Graphical User Interface

圖形用戶界面

設(shè)備操作軟件交互系統(tǒng)

GVM

Gas Vapor Mixture

氣體蒸汽混合

超臨界清洗技術(shù)(如CO?/H?O),去除納米級(jí)污染物

GW

Global Wafer

環(huán)球晶圓

硅片供應(yīng)商品牌(300mm晶圓市占率>15%)

GZO

Gallium Zinc Oxide

鎵鋅氧化物

透明導(dǎo)電薄膜,電阻率<10?3 Ω·cm,用于顯示電極

GAA-CFET

Gate-All-Around CFET

全環(huán)繞互補(bǔ)場(chǎng)效應(yīng)管

NMOS/PMOS垂直集成,密度再提升2倍,1nm節(jié)點(diǎn)候選技術(shù)



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關(guān)于作者: 網(wǎng)站小編

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